电子工业超纯水系统工艺流程

　　电子工业超纯水系统工艺流程

　　水质标准需符合美国ASTM标准，电子超纯水水质标准。

　　超纯水系统应用场合

　　半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路;LCD、EL、PDP、TFT、玻壳、显像管;超纯材料和超纯化学试剂；

　　光导纤维、光盘;汽车、家电表面电泳漆清洗用水;其他高科技精微产品;实验室和中试车间。

　　超纯水系统工艺流程

　　方案一：预处理→反渗透→初混→精混→终端后处理；

　　方案二：预处理→二级反渗透→EDI（CDI）→终端后处理；

　　方案三：膜法（UF）预处理→二级反渗透→EDI→膜脱气→抛光→终端后处理。