超纯水机概述及工艺比较

　　电子工业用超纯水机概述

　　半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、超大规模集成电路需用大量的高纯水、超纯水机清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高，对水质的要求也越高。目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业标准，分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以区分不同水质。

　　用两级反渗透制取

　　电子工业超纯水机处理设备采用两级反渗透主机加EDI；

　　制取电子工业超纯水机处理设备；

　　制备电子工业用超纯水机的工艺流程。