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优普超纯水制造系统的生产过程究竟有多复杂?
点击次数:121 发布时间:2022-07-04
  优普超纯水制造系统是指系统从原水完全生产到超纯水的生产系统。一般超纯水系统通过离子交换、脱气、反渗透、UV、超滤、纳米速率、离子吸附过滤等多重过滤产生超纯水。一般来说,超纯水系统可分为三部分:超纯水制造区(CUB部分);超纯水抛光循环区(FAB部分);超纯水传输网络(FAB各使用区)。
  

优普超纯水制造系统

 

  优普超纯水制造系统是一个非常重要且复杂的部分,分为预处理、初级纯水处理和超纯水处理三个部分。预处理部分主要包括:砂滤和活性炭塔;初级纯水主要包括阴离子交换塔、脱气塔(DG)、安全过滤器、紫外线杀菌器和多级反渗透;超纯水主要包括:MDG(脱氧膜组)、TOC-UV杀菌器、混床(MB)和末端过滤器。但考虑到输水管道在将高纯水输送到工艺线设备的过程中会再次污染水质,因此抛光循环系统一般设置在晶圆厂内。精制循环系统主要以MB为核心,外加超滤设备(UF),在将纯水输送到工艺生产线的过程中,去除管网中溶解在水中的杂质。
  
  1、液位联锁全自动控制,具有系统开机自检、原水不足停机自动保护、系统低压高压停机报警、缺相过流停机报警、自动水箱高水位停机/中水位启动、系统自动冲洗等。同时系统还具有手动操作功能,满足应急需要;
  
  2、增强型预处理系统采用全自动控制阀,实现预处理的自动/手动再生,使用寿命长;
  
  3、恒压供水系统由全自动水泵控制器控制,数字电路经久耐用,可手动操作;
  
  4、仪器仪表全显示设计,可有效监测系统各项指标,纯水电导仪在线监测​​膜水质,纯水电导仪实时监测纯水电导率;
  
  5、优普超纯水制造系统采用CNP专用高压泵、进口RO膜、进口继电器、管道接头等元件,采用模块化、一体化工艺设计,性能稳定,设备安装维护简单。

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