超纯水设备是指制取各行业所需要的超纯水的水处理设备，以水处理预处理、反渗透技术、EDI技术、超纯化处理和后级处理等工艺为核心技术。一般用于太阳能光伏、电子半导体、线路板电路板、高科技精细产品等行业。它的产水水质有如下要求：将水中的电解质几乎*去除（电阻率>15MΩNaN）、水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度、超纯水水质分为五个行业标准，分别为18MΩNaN、15MΩNaN、10MΩNaN、2MΩNaN、0.5MΩNaN，以区分不同水质。

超纯水处理设备的工艺流程大致分成以下几种：

1、采用离子交换树脂制备超纯水的传统水处理方式，其基本工艺流程为：原水→石英砂过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→阳床→阴床→混床（复床）→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点。

2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合的方式，其基本工艺流程为：原水→石英砂过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→反渗透设备→纯水箱→混床（复床）→超纯水箱→超纯水泵→后置精密过滤器→用水点。

3、采用反渗透水处理设备与电去离子（EDI）设备进行搭配的的方式，这是一种制取超纯水的新工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为：原水→石英砂过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→反渗透设备→纯水箱→电去离子（EDI）→超纯水箱→超纯水泵→后置精密过滤器→用水点。